Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Visible and deep UV speckle interferometry for MEMS testing

 
: Aswendt, P.; Dean, T.

Pappalettere, C.:
Advances in Expermental Mechanics : 12th International Conference on Experimental Mechanics, 29.8.-2.9. 2004
Mailand: McGraw-Hill, 2004
ISBN: 88-386-6273-8
S.488-489
International Conference on Experimental Mechanics (ICEM) <12, 2004, Bari>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-29244.html