Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Analysis of static and dynamic operational behavior of active micromembranes

 
: Aswendt, P.; Dean, T.

Gorecki, C. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.; European Optical Society -EOS-:
Optical micro- and nanotechnology in manufacturing technology : 29 - 30 April 2004, Strasbourg, France
Bellingham/Wash.: SPIE, 2004 (SPIE Proceedings Series 5458)
ISBN: 0-8194-5380-3
S.25-33
Conference "Optical Micro- and Nanotechnology in Manufacturing Technology" <2004, Strasbourg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-29243.html