Fraunhofer-Gesellschaft

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Wolfram-Dickschichtmetallisierungen im Simultaneinbrand mit Aluminiumnitrid

 
: Joedecke, Christian Bernd
: Michaelis, Alexander

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Volltext urn:nbn:de:0011-n-2910083 (15 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 050fd8091a66704277ca3abd50ee269c
Erstellt am: 4.6.2014

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Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2014, VII, 151 S.
Zugl.: Dresden, TU, Diss., 2014
Kompetenzen in Keramik. Schriftenreihe, 23
ISBN: 3-8396-0727-2
ISBN: 978-3-8396-0727-5
ISSN: 9993-566X
Deutsch
Dissertation, Elektronische Publikation
Fraunhofer IKTS ()
Angewandte Forschung; applied research

Abstract
Diese Arbeit hatte das Ziel, wesentliche Probleme bei der Vergesellschaftung von W mit der AlN-Keramik durch die Zusammensetzung der W-Metallisierungspaste in Kombination mit der thermischen Prozesstechnik zu lösen. Schwerpunktmäßig wurden dabei die Einflüsse der Partikelgröße von W und den Sekundärphasen auf das Sinterverhalten und den Flächenwiderstand von W-Metallisierungen untersucht. Weiterhin wurden die durch die Prozesstechnik und die Materialzusammensetzungen hervorgerufenen Fremdphasen untersucht, deren Einflüsse betrachtet und Möglichkeiten zur Verringerung aufgezeigt. Mit optimierter Prozesstechnik konnte der Aufbau von AlN-W-HTCC-Demonstratoren erfolgreich durchgeführt werden. Die Ergebnisse zeigen weiterhin, dass die Wolframkarbid-Bildung im Vergleich zur Wolframborid-Bildung nur einen geringen Einfluss auf den Flächenwiderstand der W-Metallisierung hatte. Durch grundlegende Untersuchungen an den entwickelten W-Metallisierungen in verschiedenen Sinterzuständen konnte ein Modell zum Sinterverhalten der W-Metallisierung skizziert werden. Im Gesamtergebnis zeigt die Arbeit, dass neben den verwendeten Werkstoffen weiterhin die thermische Prozesstechnik betrachtet werden muss.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-291008.html