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Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben

Preparation of microhole structures with application of a relief structure to a substrate surface by angular coating useful for fine filtration of liquids and for radiation filtration and screening.
 
: Gombert, A.; Boerner, V.; Robert, J.; Gehrke, I.; Blaesi, B.; Niggemann, M.; Schlemme, C.

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DE 2002-10219584 A: 20020426
DE 2002-10219584 A: 20020426
EP 2003-725097 AW: 20030425
WO 2003-EP4321 A: 20030425
DE 10219584 A1: 20031120
EP 1499926 A1: 20050126
B81C0001
G03F0007
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Bei einem neuen Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben wird das Siebmaterial durch Schraegbeschichtung auf eine mit einer Reliefstruktur versehenen Oberflaeche eines Substrats aufgebracht. Fuer die Erzielung des gewuenschten Lochmusters weist die Reliefstruktur zweckmaessig ein zusammenhaengendes Netz aus ersten Oberflaechenteilen, deren lokale Flaechennormalenvektoren mit dem Einheitsvektor der Oberflaeche einen kleinen Winkel einschliessen, und zwischen den ersten Oberflaechenteile zweite Oberflaechenteile, deren lokale Flaechennormalenvektoren mit dem Richtungsvektor der Beschichtung einen kleinen Winkel einschliessen, auf.

 

WO2003091804 A UPAB: 20040102 NOVELTY - Preparation of microhole structures with application of a relief structure to a substrate surface by angular coating, the desired hole pattern of the relief structure is obtained via a continuous network of first surface elements and second ones between them, the local normal surface vectors of the first surface elements forming a small angle with the unit vector and the those of the second ones forming a small angle with the coating direction vector is new. USE - The microhole structures are useful for fine filtration of liquids and for radiation filtration and screening. ADVANTAGE - the method avoids a drawback of the contact exposure method which cannot be applied industrially for hole sizes less than 1 micron.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-28302.html