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Title
Anordnung zur Detektion von Roentgenstrahlung und Verfahren zu deren Herstellung
Date Issued
2005
Author(s)
Schreiber, J.
Baumbach, T.
Hirsch, O.
Patent No
2003-10323584
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Detektion von Roentgenstrahlung und Verfahren zu deren Herstellung, sie kann auf den verschiedensten Gebieten der Technik, wie beispielsweise bei der zerstoerungsfreien Werkstoffpruefung, in der medizinischen Diagnostik, aber auch fuer viele sicherheitsrelevante Anwendungen eingesetzt werden. Aufgabengemaess soll ein hohes Aufloesungsvermoegen, ein zuverlaessiger Einsatz ueber lange Betriebszeitraeume erreicht werden und bei erhoehter Sensitivitaet eine kostenguenstige Herstellbarkeit gegeben sein. Die erfindungsgemaesse Anordnung verwendet dabei eine sensitive Schicht aus einem halbleitenden Werkstoff, der Roentgenstrahlung absorbiert. An einer Seite der sensitiven Schicht ist eine Deckelektrode elektrisch leitend kontaktiert und auf der dementsprechend gegenueberliegenden Seite sind Detektorelemente, die jeweils elektrisch zueinander isoliert sind, angeordnet. Ausserdem ist zwischen der sensitiven Schicht, die bevorzugt aus einem polykristallinen halbleitenden Werkstoff besteht, eine Barriereschicht, die wiederum in einer Ausfuehrung bevorzugt als eine amorphe Kohlenstoffschicht ausgebildet ist, vorhanden. An der Barriereschicht sind an einzelnen Detektorelementen elektrisch leitende Barriereschichtbereiche vorhanden, die durch Trennstege aus dielektrischem Stoff oder mit erhoehtem spezifischen elektrischen Widerstand voneinander getrennt sind.
WO2004104635 A UPAB: 20050112 NOVELTY - The arrangement has a sensitive layer (1) of semiconducting material that absorbs x-ray radiation, that is contacted on one side by a covering electrode and has detector elements (2), each electrically isolated relative to the others, on the other side. A barrier layer (4) between the sensitive layer and the detector elements has electrically conducting regions (4') associated with the individual detector elements separated by dividers (5) of dielectric material or material with increased specific electrical resistance. DETAILED DESCRIPTION - AN INDEPENDENT CLAIM is also included for the following: (A) a method of manufacturing an inventive arrangement. USE - For detecting x-ray radiation. ADVANTAGE - High resolution, reliable use over long periods and high resolution at low cost.
Language
de
Patenprio
DE 2003-10323584 A: 20030520