Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Multi-wafer Bonding, Stacking and Interconnecting of Integrated 3-D MEMS Micro Scanners

 
: Wiemer, M.; Wuensch, D.; Froemel, J.; Gessner, T.; Bargiel, S.; Baranski, M.; Passily, N.; Gorecki, C.

Universiti Tunku Abdul Rahman -UTAR-, Kuala Lumpur:
ISMOT 2013. 14th International Symposium in Microwave and Optical Technology. Proceedings : Oct 28, 2013 - Oct 31, 2013, Kuala Lumpur
2013
S.30
International Symposium on Microwave and Optical Technology (ISMOT) <14, 2013, Kuala Lumpur>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-279275.html