Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optimization of MEMS/NEMS for reliable resonance frequencies

 
: Stoeckel, C.; Hofmann, K.; Forke, R.; Billep, D.; Gessner, T.

Gessner, Thomas (Ed.) ; Fraunhofer-Institute for Electronic Nano Systems -ENAS-, Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin; MESAGO Messe Frankfurt GmbH, Stuttgart:
Smart Systems Integration 2013. CD-ROM : Amsterdam, The Netherlands, 13 - 14 March 2013, 7th International Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components
Berlin: VDE-Verlag, 2013
ISBN: 978-3-8007-3490-0
International Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components <7, 2013, Amsterdam>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-279263.html