Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)

 
: Bräuer, G.

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg:
Herstellung dünner Schichten : Materialien, Beschichtungsprozesse, Substrate. Erstes Fachforum ; 23./24. Juni 2003, Würzburg
Regensburg: OTTI, 2003
S.123-147
Fachforum "Herstellung Dünner Schichten" <1, 2003, Regensburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-27896.html