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Konferenzschrift
Multi-Level-Simulation von Mikrosystemen
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1993
Conference Paper
Titel
Multi-Level-Simulation von Mikrosystemen
Author(s)
Paap, K.-L.
Klaaßen, B.
Hauptwerk
Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik
Konferenz
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 1993
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Informationstechnik FIT