Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

200 mm conversion of IMS fab completed

 
: Vogt, H.; Debusmann, K.; Awater, H.; Weyers, S.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2004
Duisburg, 2005
ISSN: 1435-0874
S.12-15
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-27258.html