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FIB-Zielpräparation von TEM-Proben mittels Nadelmanipulationstechnik

 
: Altmann, F.

Praktische Metallographie 40 (2003), April, S.175-183
ISSN: 0032-678X
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IWM ()
focused ion beam; Transmissionselektronenmikroskopie; Mikroelektronik; Zielpräparation

Abstract
Die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) wird zunehmend zur strukturell-morphologischen Charakterisierung der immer kleiner werdenden Strukturen von mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt. Die dafür notwendige Präparation wird im wesentlichen mittels fokussierender Ionenstrahltechnik (focused ion beam FIB) zeiteffizient und zielgenau durchgeführt. Die FIB-Präparation mittels Nadelmanipulationstechnik (lift-out-Technik) bietet hier einen besonderen Zeitvorteil, da auf eine mechanische Vorpräparation vollständig verzichtet werden kann und sich die Dauer der Ionenstrahlbearbeitung aufgrund minimierter Abtragsvolumina verringert. Außerhalb des Anwendungsbereiches in der Mikroelektronik bietet die Nadelmanipulationstechnik die Möglichkeit bisher für die Zielpräparation schwer zugängliche Probensysteme, wie z. B. Zahnmaterial, große Stahlproben, Bruchflächen mit ausgeprägter Topographie, Hohlfasern, etc. zu bearbeiten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-27178.html