Options
2004
Journal Article
Titel
Werkstofftrends: Lithographieverfahren
Abstract
Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Lithographieverfahren zur Strukturierung von Oberflächen. Behandelt werden sowohl parallele Prozesse als auch serielle Verfahren.
Author(s)