Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Beugungsgitter und Verfahren zu dessen Herstellung

DIFFRACTION GRATING AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
 
: Fuchs, Frank

:
Frontpage ()

DE 102012101555 A1: 20120227
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Es wird ein Beugungsgitter (10) angegeben, umfassend ein Substrat (1), einen Gitterbereich (3), der in einer parallel zum Substrat (1) verlaufenden Richtung eine periodische Anordnung von ersten Bereichen (31) mit einem ersten Gittermaterial und zweiten Bereichen (32) mit einem zweiten Gittermaterial aufweist, wobei das erste Gittermaterial und das zweite Gittermaterial feste Materialien mit verschiedenen Brechungsindizes sind, und ein reflexionsminderndes oder reflexionserhöhendes Schichtsystem (4), das mindestens zwei Schichten (41, 42) mit verschiedenen Brechungsindizes aufweist, wobei das reflexionsmindernde oder reflexionserhöhende Schichtsystem (4) auf einer vom Substrat (1) abgewandten Seite des Gitterbereichs angeordnet (3) ist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung des Beugungsgitters (10) angegeben.

 

A diffraction grating (10) is specified, comprising: a substrate (1); a grating area (3) having, in a direction running parallel to the substrate (1), a periodic arrangement of first areas (31) with a first grating material and second areas (32) with a second grating material, wherein the first grating material and the second grating material are solid materials with different indices of refraction; and a reflection-reducing or reflection-increasing layer system (4) having at least two layers (41, 42) with different indices of refraction, wherein the reflection-reducing or reflection-increasing layer system (4) is arranged on one side of the grating area (3) facing away from the substrate (1), and an additional layer system (2) having at least two layers (21, 22) with different indices of refraction is arranged between the substrate (1) and the grating area (3). A method for producing the diffraction grating (10) is also specified.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-270947.html