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Verfahren zum Magnetronsputtern mit Ausgleich der Targeterosion

METHOD FOR MAGNETRON SPUTTERING WITH COMPENSATION OF THE TARGET EROSION
 
: Bandorf, Ralf

:
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DE 102011115145 A1: 20110927
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Verfahren zum Magnetron-Sputtern in einer Sputtervorrichtung, die eine Kathode, ein Target, das an einer Oberfläche der Kathode angeordnet ist oder Teil dieser Oberfläche der Kathode ist, und einen auf einer dieser Oberfläche abgewandten Seite der Kathode angeordneten Magnetsatz aufweist, wobei während des Sputterns das Target auf einer erodierenden Oberfläche zumindest bereichsweise erodiert wird, und wobei ein Abstand zwischen dem Magnetsatz und der erodierenden Oberfläche des Targets im Verlauf des Erodierens so nachgeführt wird, dass eine Impedanz eines die Kathode umfassenden Stromkreises sich im Laufe des Erodierens durch das Erodieren nur um weniger als einen vorbestimmten Wert ändert, der kleiner ist als eine Impedanzdifferenz zwischen der Impedanz bei nicht-erodiertem Target und der Impedanz bei maximal erodiertem Target bei nicht nachgeführtem Abstand.

 

The invention relates to a method for magnetron sputtering in a sputtering device, which has a cathode, a target, which is arranged on a surface of the cathode or is part of said surface of the cathode, and a magnet set arranged on a side of the cathode facing away from said surface, wherein the target is eroded at least in some areas on an eroding surface during the sputtering, and wherein a distance between the magnet set and the eroding surface of the target is adjusted during the course of the eroding in such a way that an impedance of a circuit comprising the cathode changes only by less than a predetermined value due to the eroding during the course of the eroding, which predetermined value is less than an impedance difference between the impedance for the non-eroded target and the impedance for the maximally eroded target at an unadjusted distance.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-270809.html