Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

In situ ATR monitoring of cross-link and diffusion behavior of thin-film epoxy and sol-gel based imprint resists

Poster presented at 12th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology, NNT 2013, October 21-23, 2013, Barcelona, Spain
 
: Verschuuren, Marc; Fader, Robert; Brakel, Remco van; Hurxkens, Gert-Jan

:
Poster urn:nbn:de:0011-n-2688276 (1.7 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: f32dabfc60b0c7dc1b6e41a6f2c5b9b4
Erstellt am: 4.12.2013


2013, 1 Folie
International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology (NNT) <12, 2013, Barcelona>
Englisch
Poster, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-268827.html