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2004
Conference Paper
Titel
Transparente und farbige Kratzschutzschichten für Anwendungen im Innen-und Außenbereich
Abstract
Für großflächige transparente und farbige Innen- und Aussen-Kratz-/Korrosions-Schutzbeschichtung ist Vakuumbeschichtung (PVD) wie 1) reaktives Puls-Magnetron-Sputtern (PMS) (gepulste Energie in Entladungsplasma, 10 - 50 Hz, Hochrate bis 120 nm/min u. 3,75 m Breite, 2D und 3D, mit Verbindungsschicht, 1- oder 2-Polar-Technologie, prozessstabil, gleichmäßige (+/-1 bis 1,5 %) Oxid- und Nitridschichten, geringe Substrattemperatur, Eigenschaften einstellbar) und 2) durch Bogenentladung plasmaaktivierte Elektronenstrahl-Hochrate-Bedampfung (40 - 2000 nm/s, stöchiometrische Schichten aus Ti, Cr, Al, Stahl, TiN, TiO2, TiC, SiO2) überlegen. Beispiele: A) Dünne (0,5 - 3 Mikrometer), weniger kratzfeste farbige Verbindungs- und Interferenzschichten (Härtung bis 30 GPa, 2- und 3-D auf Metall, Glas, Kunststoff u. transparente Interferenzschichten (20 - 200 nm), Farbwechsel bei Verschleiß), B) photo-katalytische und -hydrophile TiO2-Easy-to clean-Schichten (Abbau von Schmutz-, Keim-, Gas- und Wasser-Verunreinigungen, H2 aus H2O oder CH4, H2O-Film statt Beschlag u. Tropfen), C) transparenter Kratzschutz durch 2) auf Kunststoff (Al2O3, SiOx, Floatglas vergleichbar) und potentiell auf Metallen (Anti-Fingerprint, optisch funktionelle und Photovoltaikschichten), D) dekorativer Korrosionsschutz (1 - 5 Mikrometer, Härtungsschicht TiN: gold-opak, Metallglanz; TiAlN: violett-opak, 1 - 5 Mikrometer, Stahl 1 - 5 GPa, Al 1 GPa, Nitrid 20 -35 GPa oder 1 - 10 Mikrometer Ti auf Al oder Kunststoff).