Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Life time of flexible PDMS stamps for UV-enhanced substrate conformal imprint lithography (SCIL)

Presentation held at 39th International Conference on Micro and Nano Engineering, 16.-19.09.2013, London
 
: Fader, Robert

:
Präsentation urn:nbn:de:0011-n-2649313 (706 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: 53d435c1e6c244aec3b768e259f9f34a
Erstellt am: 6.11.2013


2013, 19 Folien
International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE) <39, 2013, London>
Englisch
Vortrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-264931.html