Fraunhofer-Gesellschaft

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Tribologische lineare Mikroführungen

 
: Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Schiffmann, K.; Sick, J.-H.; Bandorf, R.; Küster, R.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
S.597-600
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

Abstract
Ein großes Lösungspotenzial für die Optimierung der Reibung im Bereich der Mikroaktorik liegt in der modernen Dünnschichttechnologie. Es wurden hierzu wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten (a-C), die auf Grund ihrer niedrigen Herstellungstemperaturen und guten Reibungseigenschaften besondere Bedeutung für mikrotechnische Anwendungen besitzen, auf strukturierten Proben abgeschieden und tribologisch charakterisiert. Durch die Mikrostrukturierung der Proben konnte eine Senkung des Reibungskoeffizienten um 20 % erreicht werden. Die Ergebnisse wurden eingesetzt, um die Reibung bei linealen Mikroführungen zu reduzieren.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-259329.html