Fraunhofer-Gesellschaft

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Miniaturisierung von Komponenten und Bauteilen im Maschinenbau

Miniaturisation of components and parts in mechanical engineering
 
: Westkämper, E.

Gesellschaft für Fertigungstechnik:
Stuttgarter Impulse: Technologien für die Zukunft. FTK 2000 : Schriftliche Fassung der Vorträge zum Fertigungstechnischen Kolloquium am 26./27. September 2000 in Stuttgart
Berlin: Springer, 2000
ISBN: 3-540-67984-7
S.34-62
Fertigungstechnisches Kolloquium (FTK) <11, 2000, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Nanomeßtechnik; Nanotechnik; metrology; tolerance; miniaturisation; nanotechnology; Funktionsintegration; function integration; Toleranz; Messen; Miniaturisierung; Genauigkeit

Abstract
Die Mikroelektronik und Nanotechnik ermöglichen eine Funktionsintegration und Miniaturisierung von Dimensionen und Präzision. An diesen Anforderungen orientiert sich die Entwicklung künftiger intelligenter Maschinen und Anlagen. Aufgrund dessen muß das Bezugsmaß im Hinblick auf Meßtechnik und Präzision in den atomaren Bereich verlegt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-2581.html