Fraunhofer-Gesellschaft

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Hochgenaue Bestimmung mechanischer Spannungen in Elektronik- und MEMS-Komponenten durch ein Stressmesschip

 
: Schindler-Saefkow, F.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2012. Mikromechanik & Mikroelektronik : 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 23./24. Oktober 2012
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2012
ISBN: 978-3-00-039162-0
S.49-52
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <11, 2012, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-256612.html