Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren

 
: Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Gessner, T.; Horstmann, J.T.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2012. Mikromechanik & Mikroelektronik : 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 23./24. Oktober 2012
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2012
ISBN: 978-3-00-039162-0
S.242-246
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <11, 2012, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-256530.html