Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Wafer level approaches for carbon nanotube integration in interconnects and MEMS/NEMS

 
: Hermann, S.

Semiconductor Manufacturing Technology Consortium:
Advanced Metallization Conference 2012 : Albany, New York, USA, 9 - 11 October 2012
Red Hook, NY: Curran, 2012
ISBN: 978-1-622-76999-5
S.128-140
Advanced Metallization Conference <2012, Albany/NY>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-254107.html