Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Diagnostic data acquisition (DDA) data collection management standards (overview and status)

Standards in der Halbleiterfertigung für Diagnose bei der Datenagregation und Diagnose-Daten-Management
 
: Dreiss, P.; Willmann, R.

Semiconductor Equipment and Materials International -SEMI-, San Jose/Calif.:
SEMI Europe. Standards Autumn Event 2004 : 5-8 October, Vimercate (Milan), Italy
Vimercate, 2004
SEMI Europe (Standards Autumn Event) <2004, Vimercate, Italien>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Halbleiterfertigung; Datenmanagement; semiconductor; SEMI 134; Halbleiter

Abstract
In der Präsentation wird der Status bei der Internationalen Standardisierung in der Automatisierung der Halbleiterfertigung gezeigt. Darunter die folgenden Themen: SEMI 134 Data Collection Management, u.a. Operationen, Data Collection Pläne, Data Collection Reports, mögliche Szenarien. Dieser Standard regelt Datenformate und Schnittstellen bei der Ausgabe u.a. von Diagnose Daten und Parametern in der Halbleiterproduktion.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-25370.html