Fraunhofer-Gesellschaft

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EDA demonstration

EDA Demonstration (Neue SEMI Standards in der Halbleiterproduktion und Anlagendiagnose)
 
: Dreiss, P.; Kender, E.

Semiconductor Equipment and Materials International -SEMI-, San Jose/Calif.:
SEMI Europe. Standards Autumn Event 2004 : 5-8 October, Vimercate (Milan), Italy
Vimercate, 2004
SEMI Europe (Standards Autumn Event) <2004, Vimercate, Italien>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Halbleiterfertigung; semiconductor; semiconductor industry; SEMI E120; SEMI E125; SEMI 134; SEMI PR8; Halbleiter; Prototyp; Software

Abstract
Die frühzeitige Implementierung neuer Standards in der Halbleiterfertigung ist entscheidend, um sicherzustellen, dass Dokumente, die als Standard vorgeschlagen werden später auch umsetzbar sind. Die Präsentation dokumentiert die Implementierung der Standards in der Halbleiterproduktionsautomatisierung SEMI E120 (Common Equipment Model), SEMI E125 (Equipment Self Description), SEMI 134 (Data Collection Management) und SEMI PR8 (Proposed Standard for Equipment Data Acquisition Solutions). Es werden kurz die folgende Inhalte skizziert: Architektur der implementierten Anwendung, sowie zugrundeliegendes Framework, Konfigurationen des Anlagenmodells, Anlegen eines Data Collection Plans, Ausführung eines Data Collection Plans mit einer graphischen Ausgabe. Die prototypische Implementierung wird live vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-25368.html