Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fabrication of subwavelength holes using nanoimprint lithography

 
: Weiss, A.; Besser, J.; Baum, M.; Saupe, R.; Otto, T.; Gessner, T.

:

Freymann, Georg von (Ed.) ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics VI : 2.-7.2.2013, San Francisco, CA, USA
Bellingham, WA: SPIE, 2013 (Proceedings of SPIE 8613)
ISBN: 978-0-8194-9382-8
Conference "Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics" <6, 2013, San Francisco/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-251986.html