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Fabrication of subwavelength holes using nanoimprint lithography

	Freymann, Georg von (Ed.) ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.: Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics VI : 2.-7.2.2013, San Francisco, CA, USA Bellingham, WA: SPIE, 2013 (Proceedings of SPIE 8613) ISBN: 978-0-8194-9382-8
	Conference "Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics" <6, 2013, San Francisco/Calif.>

	Englisch
	Konferenzbeitrag
	Fraunhofer ENAS ()