
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Fabrication of subwavelength holes using nanoimprint lithography
| Freymann, Georg von (Ed.) ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.: Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics VI : 2.-7.2.2013, San Francisco, CA, USA Bellingham, WA: SPIE, 2013 (Proceedings of SPIE 8613) ISBN: 978-0-8194-9382-8 |
| Conference "Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics" <6, 2013, San Francisco/Calif.> |
|
| Englisch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS () |