Fraunhofer-Gesellschaft

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Plasma-aktivierte Bedampfung von flexiblen Materialien

Plasma-activated vapour deposition on flexible substrates
 
: Günther, S.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 16 (2004), Nr.1, S.6-10
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()
Vakuum; Hochratebeschichtung; Elektronenstrahlverdampfer; Beschichtung

Abstract
Die Vakuumbeschichtung von flexiblen Materialien, insbesondere Kunststofffolien, wird weltweit eingesetzt, um deren Oberflächeneigenschaften für bestimmte Anwendungen zu verändern. Gewünschte physikalische Eigenschaften, wie z.B. Dichte, Härte, Brechungsindex und Permeation, sind dabei in starkem Maße von der Mikrostruktur der aufgebrachten Schicht abhängig. Wie in dem Artikel gezeigt wird, wird durch die Anwendung plasmaaktiver Verfahren diese Mikrostruktur entscheidend verbessert. Am Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) in Dresden wurde ein Verfahren zur Plasmaaktivierung bei der Hochratebeschichtung entwickelt. Das Verfahren basiert auf der Hohlkalthoden-Bogenentladung. Die Plasmaquellen sind für hochproduktive Bandbedampfungsanlagen mit Schiffchenverdampfern oder Elektronenstrahlverdampfern geeignet.

 

The vacuum coating of flexible materials such as plastic webs is being used worldwide to change the surface properties for specific applications.
The physical properties of interest e.g. density, hardness, refractive index and permeation are influenced by the microstructure of the coated layer. This paper describes, that this microstructure can be improved significantly by plasma enhanced evaporation techniques.
At Fraunhofer Institute for Electron Beam and Plasma Technology (FEP), a method for plasma-activated high rate deposition has been developed. This method is based on a hollow cathode arc discharge. This plasma-source can be used for high productive roll coaters with boat evaporators or electron beam evaporators.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-24969.html