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Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop und Verfahren zu deren Herstellung

Cantilevered probe for optical near-field microscope, has tip constructed as solid structure mounted on planar surface of carrier.
 
: Brandenburg, A.; Kuenzel, C.; Eberhard, D.

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DE 2003-10303961 A: 20030131
DE 2003-10303961 A: 20030131
WO 2003-EP14555 A: 20031218
DE 10303961 A1: 20040826
G02B0021
G12B0021
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPM ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop, welche eine Sondenspitze umfasst, die an einem freitragenden Traeger ausgebildet ist, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop und ein Verfahren zu deren Herstellung zur Verfuegung zu stellen, wobei die Sonde eine Sondenspitze mit einem sehr kleinen Blendendurchmesser besitzt und demnach in einem einfachen, vorteilhaft steuerbaren Verfahren reproduzierbar hergestellt werden kann. Diese Aufgabe wird hinsichtlich der Sonde durch eine gattungsgemaesse Sonde geloest, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Sondenspitze als eine Vollstruktur ausgebildet ist, die auf einer planaren Oberflaeche des Traegers aufgebracht ist. Die Aufgabe wird hinsichtlich eines Verfahrens zur Herstellung einer Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop erfindungsgemaess durch ein Verfahren mit den Schritten geloest: Aufbringen einer transparenten Schicht auf ein Substrat, wobei eine Dicke der transparenten Schicht wenigstens einer Hoehe der Sondenspitze entspricht; Maskieren der transparenten Schicht wenigstens in einem Bereich der Sondenspitze und Aetzen der transparenten Schicht unter Ausbildung der Sondenspitze.

 

WO2004068501 A UPAB: 20040910 NOVELTY - The tip (2) of the probe (1) is constructed as a solid structure which is mounted on a planar surface (4) of the carrier (3). DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for the method of making the tip, essentially by masking and etching an applied layer. USE - A cantilevered probe for an optical near-field microscope. ADVANTAGE - The new tip has a very small aperture diameter, yet is manufactured reproducibly in a well-controlled etching process. The layer thickness used to produce the tip is preferably 3-8 mu m. An excellent tip shape is produced, providing very good results when taking surface measurements from a sample.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-24824.html