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2003
Conference Paper
Titel
Abformtechnologien zur Mikrostrukturierung von Glas
Abstract
Der Einsatz von Abformtechnologien zur Herstellung mikrostukturierter Glaswafer eröffnet ein großes Potential für den breiten Einsatz von Glas in der Mikrosystemtechnik. Es werden Untersuchungen zur Gestaltung eines Heißprägeprozesses unter Nutzung unterschiedlicher Werkzeugtypen durchgeführt und gezeigt , dass sich mittels Heißprägen Wafer aus ausgewählten Glasarten mit hoher Formgenauigkeit mikrostrukturieren lassen.