Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln

 
: Schließer, J.; Gommel, U.

VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung:
Reinraumtechnik '99. Molekulare Kontamination, Qualifizierung und Messtechnik, Systemoptimierung
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1999 (VDI-Berichte 1482)
ISBN: 3-18-091482-3
S.161-171
Tagung Reinraumtechnik <1999, Nürnberg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Reinheitsspezifikation; Reinraumtauglichkeit; Cleanliness Specification; Cleanroom suitability; contamination; operating material; Reinraum; Kontamination

Abstract
Um in der reinen Fertigung den bestmöglichen Produktschutz unter Kontaminationsgesichtspunkten zu erreichen, ist der Einsatz von Betriebsmitteln erforderlich, welche die von den Produkten diktierten Reinheitsspezifikationen erfüllen.
Es ist naheliegend, dass die technischen Spezifikationen solcher "reinheitstechnischer bzw. reinheitsrelevanter Betriebsmittel" definierte Angaben über die "Reinheitseigenschaften" enthalten. In der Praxis wurde die Handhabung solch reinheitstechnischer Spezifikationen bisher nur in einzelnen Teilbereichen der Chipindustrie und der pharmazeutischen Industrie sowie deren Zulieferern erfolgreich eingeführt und praktiziert. Eine klare Darstellung und Spezifizierung der Reinheitseigenschaften eines Betriebsmittels fehlt zur Zeit weitgehend. Diese stellt ein grundlegendes Merkmal eines Betriebsmittels dar und ist daher eine wichtige Größe im produktionstechnischen Wertschöpfungsprozess sowie dem dazugehörigen Produkt- und Prozessengineering. Viele Endnutzer fordern vor allem aus Kosten-, Qualitäts- und Transparenzgründen die quantitative Beschreibung ausgewählter Reinheitsparameter entsprechender Betriebsmittel auf definierter Basis, so dass eine objektive Beurteilung der Untersuchungsergebnisse und ein qualitativer Vergleich von Betriebsmitteln ermöglicht wird.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-2460.html