Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Inspection system for MEMS characterization on wafer level using ESPI

 
: Aswendt, P.; Schmidt, C.-D.; Zielke, D.; Schubert, S.

:

Gorecki, C. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Microsystems engineering: Metrology and inspection : 20 - 21 June 2001, Munich, Germany
Bellingham/Wash.: SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series 4400)
ISBN: 0-8194-4095-7
S.43-50
Technical Conference "Microsystems Engineering: Metrology and Inspection" <2001, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-24514.html