Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Interferometrische Prüfung mikromechanischer Komponenten im Waferverband

 
: Aswendt, P.; Schmidt, C.-D.; Zielke, D.; Schubert, S.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
S.202-208
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-24512.html