Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Micromotion analysis by deep-UV speckle interferometry

 
: Aswendt, P.

Gorecki, C. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Microsystems engineering: Metrology and inspection III : 23 - 25 June 2003, Munich, Germany
Bellingham/Wash.: SPIE, 2003 (SPIE Proceedings Series 5145)
ISBN: 0-8194-5015-4
S.17-22
Conference "Microsystems Engineering - Metrology and Inspection" <2003, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-24340.html