Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Hybrid sensor integration by wafer-to-wafer bonding

 
: Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institute for Microelectronic Circuits and Systems. Annual Report 2012
Duisburg: Fraunhofer IMS, 2013
S.38-40
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-238416.html