Options
2000
Journal Article
Titel
Ablenkeinheiten für die Sensorik
Abstract
Am Fraunhofer Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS) in Dresden wurde ein mikromechanischer Scanner zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht entwickelt, der sich durch einen großen Scanbereich von bis zu 60° auszeichnet. Aufgrund seiner geringen Abmessungen, der erreichbaren Scanfrequenzen und der weltweit einzigartigen elektromechanischen Eigenschaften eignet er sich hervorragend für den Einsatz in hochentwickelten Sensor- und Aktorsystemen.