Fraunhofer-Gesellschaft

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Leuchtende Ablenkung: Mikromechanische 2D-Scannerspiegel erreichen 30kHz

 
: Schenk, H.

Elektronikpraxis 35 (2000), Nr.19, S.114-116
ISSN: 0341-5589
ISSN: 0341-5783
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Scannerspiegel; Mikroscanner; Mikromechanik

Abstract
Mikromechanische Scannerspiegel bauen im Gegensatz zu feinmechanisch gefertigten Scannern auf IC-Fertigungsverfahren auf und lassen sich kostengünstig in Masse fertigen. Die bei der Herstellung verwendeten Verfahren erlauben eine maßgenaue Strukturdefinition und so Strukturabmessungen bis unter einem Mikrometer. Da die beweglichen Teile der Produkte eine geringe Masse besitzen, lassen sich Ablenkfrequenzen im Bereich einiger 10 kHz erreichen - wie die hier vorgestellte 32-kHz-Komponente unter Beweis stellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-2356.html