Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

FIB/SEM analysis for smart systems integration

 
: Waechtler, T.; Auerswald, E.; Hoebelt, I.; Nowack, M.; Noack, E.; Gollhardt, A.; Vogel, D.; Michel, B.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Gessner, T. (Hrsg.) ; MESAGO Messe Frankfurt GmbH, Stuttgart:
Smart Systems Integration 2012. CD-ROM : Zurich, Switzerland, 21 - 22 March 2012, 6th International Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components
Berlin: VDE-Verlag, 2012
ISBN: 978-3-8007-3423-8
International Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components <6, 2012, Zurich>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-229451.html