Fraunhofer-Gesellschaft

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Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics

 
: Koehler, D.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2012. Mikromechanik & Mikroelektronik : 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 23./24. Oktober 2012
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2012
ISBN: 978-3-00-039162-0
S.143-144
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <11, 2012, Chemnitz>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-229447.html