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Plasmaätzen organischer Schichten für die Entspiegelung optischer Oberflächen
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2013
Journal Article
Titel
Plasmaätzen organischer Schichten für die Entspiegelung optischer Oberflächen
Author(s)
Schulz, Ulrike
Präfke, Christiane
Munzert, Peter
Ludwig, Henning
Rickelt, Friedrich
Kaiser, Norbert
Zeitschrift
Magazin für Oberflächentechnik : mo
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF