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2012
Journal Article
Titel
Der "Zauberspiegel" als Messprinzip
Alternative
The "magic mirror" method
Abstract
Am Fraunhofer IISB wurde ein Sensor zur Oberflächeninspektion entwickelt, der auf der relativ unbekannten "Makyoh"-Methode basiert. Er wird zur Topographiebestimmung von Halbleiterscheiben eingesetzt und hat sich als leistungsfähiger Ansatz zur großflächigen Ebenheitsmessung von spiegelnden Oberflächen aller Art erwiesen.