Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Der "Zauberspiegel" als Messprinzip

The "magic mirror" method
 
: Tobisch, Alexander; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar

Laser + Photonik (2012), Nr.4, S.38-41
ISSN: 1610-3521
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()
Makyoh; magic-mirror; Nanotopographie; Ebenheitsmessung; Defekterkennung; Neigungsmessung; Wellenfrontsensor; 3D Sensor; Wafer; Wafer Inspektion; Halbleiterscheibe; Oberflächeninspektion

Abstract
Am Fraunhofer IISB wurde ein Sensor zur Oberflächeninspektion entwickelt, der auf der relativ unbekannten "Makyoh"-Methode basiert. Er wird zur Topographiebestimmung von Halbleiterscheiben eingesetzt und hat sich als leistungsfähiger Ansatz zur großflächigen Ebenheitsmessung von spiegelnden Oberflächen aller Art erwiesen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-228103.html