Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Analytik für die Prozesstechnik

 
: Gemmler, A.

Deutsche Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik -DGO-, Fachausschuß Prozeßlenkung und Automatisierung; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Aktuelle Analysenverfahren in der Galvanotechnik. Theorie und Praxis : Lehrgang, 15./ 16. Juni 2004, Stuttgart
Stuttgart, 2004
Lehrgang "Aktuelle Analysenverfahren in der Galvanotechnik" <2004, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Prozessanalyse; Präzisionsgalvanik; Fertigungsprozeß; Galvanotechnik; Mikroelektronik; Miniaturisierung; Analyse

Abstract
Die Veränderungen des technischen Umfeldes führen zu einer höheren Komplexität der Fertigungsprozesse. Ein eindrucksvolles Beispiel liefert die Elektronik. Sie wird beherrscht vom Trend zur Miniaturisierung, d.h. von der Optimierung des Quotienten aus Funktionseinheiten und Flächeneinheiten. Diese Miniaturisierung betrifft alle für die Elektronik relevanten Fertigungstechnologien und damit natürlich auch die Galvanotechnik. Für den Bereich der Mikroelektronik bedeutet dies, die Galvanik muss sich von hohen Quantitäten an Chemiedurchsatz zu hohen Qualitäten bezüglich der Produkte und Prozesse, sprich hoher Präzision, weiterentwickeln. Präzision bedeutet aber Genauigkeit und Sorgfalt. In den folgenden Beispielen wird aufgezeigt, wie die Anforderungen aus den Anwendungen der Mikroelektronik den Weg zur Präzisionsgalvanik vorgeben und nachhaltig die Methoden zum Beispiel der Prozessführung und damit der Analytik beeinflussen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-22507.html