Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Influence of different treatment techniques on the barrier properties of MOCVD TiN against copper diffusion

 
: Riedel, S.; Schulz, S.E.; Baumann, J.; Rennau, M.; Gessner, T.

:

DeSanti, G.:
Materials for advanced metallization : Proceedings of the Fourth European Workshop on Materials for Advanced Metallization, Stresa, Italy, February 28 - March 1, 2000. MAM 2000
Amsterdam: Elsevier, 2001 (Microelectronic engineering ; 55,1/4 55.2001,Nr.1/4)
S.213-218
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <4, 2000, Stresa>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-22130.html