Fraunhofer-Gesellschaft

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CO2-Verfahren zur Konditionierung nichtmetallischer Grenzflächen

CO2-method to condition nonmetal surfaces
 
: Werner, D.; Zorn, C.

Rochowicz, M.; Werner, D. ; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Schall Kongreß GmbH:
Präzisionsreinigung und Teilereinigung : Fachseminar begleitend zur 2. CleanTech Europe 2000, 28. -29. Juni 2000, Frankfurt/M.
Frankfurt/M., 2000
CleanTech Europe <2, 2000, Frankfurt/M.>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
CO2-Reinigung; CO2 cleaning; contamination; surface; method; cleaning equipment; MEMS; Trockeneis; dry ice cleaning; Reinigungsverfahren; Reinraum; Kontamination; Reinigung; Oberfläche; Methode

Abstract
Die Reinigung mit CO2-Schnee ist ein trockenes, tiefkaltes, rückstandfreies, Strahlverfahren mit breitem Anwendungsgebiet. Kohlendioxid reinigt trocken, weitgehend materialunabhängig und lokal begrenzt. Abgereinigt werden können adhäsiv ebundene Feststoffe (Partikel) mit Größen bis kleiner 100 nm und eine Vielzahl filmischer Verunreinigungen. Die am Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (FHG-IPA) entwickelte CO2- Schneereinigungsanlage wurde konzipert für den Einsatz in Rein und Grauräumen und als geschlossenes System mit eigener Luftaufbereitung, Prozeßsteuerung und Medienaufbereitung realisiert. Kernstück der Anlage ist der als Zweistoffringdüse ausgeführt Reinigungskopf, durch den das mit 20 °C und ca 20 bar anströmende flüssige Kohlendioxid entspannt und mit zusätzlich zugeführtem Stickstoff beschleunigt wird. Erfolgreich gereinigt mit dem beschriebenen System wurden am FHG-IPA bereits verschiedene Teile aus der Mikrosystem- bzw. Feinwerktechnik, wie z.B. Kontaktflächen von Mikroschaltern, Düsenelemente aus der Drucktechnik, auf einem Keramikträger aufgebaute Mikrochips und Stanzteile für den Bau von Schaltelementen. Die Teile waren sowohl durch partikuläre Ablagerungen als auch durch filmische Beschichtungen wie z.B. Fingerabdrücke oder dünne Lackschichten verunreinigt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-2199.html