Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

ALD of Metal and Metal Oxide Thin Films for Applications in ULSI Metallization Systems and Spintronic Layer Stacks

 
: Waechtler, T.

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten -EFDS-:
Atomic Layer Deposition - Grundlagen, Anwendungen und künftige Potentiale : 07. März 2012 in Dresden
2012
Workshop "Atomic Layer Deposition - Grundlagen, Anwendungen und künftige Potentiale" <2012, Dresden>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-218827.html