Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

ALD of Metal and Metal Oxide Thin Films for Applications in ULSI Metallization Systems and Spintronic Layer Stacks

 
: Waechtler, T.; Mueller, S.; Fiedler, H.; Melzer, M.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-:
Atomic Layer Deposition - Grundlagen, Anwendungen und künftige Potentiale : Workshop am 07. März 2012 in Dresden; Tagungsband
Dresden: EFDS, 2012
Workshop "Atomic Layer Deposition - Grundlagen, Anwendungen und künftige Potentiale" <2012, Dresden>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-218827.html