Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Bonding technologies for standard bulk PZT ceramics without the need of after process-polarization especially on thin silicon membranes

 
: Helke, C.; Schueller, M.; Hiller, K.; Schulze, R.; Braeuer, J.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.

Actuator 2012, 13th International Conference on New Actuators & 7th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems. Conference Proceedings : Bremen Convention Center, 18-20 June 2012
Bremen: Messe Bremen, 2012
ISBN: 978-3-933339-20-1 (CD-ROM)
ISBN: 978-3-933339-19-5
S.705-708
International Conference on New Actuators <13, 2012, Bremen>
International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems <7, 2012, Bremen>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-218805.html