Publica

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Inspektion technischer Oberflächen

Inspection of Technical Surfaces

	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart: Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999 : 5. und 6. Mai 1999, Stuttgart Stuttgart, 1999
	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1999, Stuttgart> Meßtechnisches Praktikum <1999, Stuttgart>

	Deutsch
	Konferenzbeitrag
	Fraunhofer IPA ()
	Absaugverfahren; Fertigungsumgebung; Kontaktwinkelverfahren; Kontaminationsüberwachung; Oberflächenanalyse; Partikelemission; Reine Produktion; Tapelift-Verfahren; Kontamination; Reinraumtechnik

Abstract
Aufzeigen und detaillierte Beschreibung von Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen. Klassifizierung von Anforderungen an Materialien der Fertigungsumgebung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-218.html