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2003
Doctoral Thesis
Titel
Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen
Alternative
Development of an integratable optical metrology system for line-width control of periodical submicron structures
ThesisNote
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2003