Sensoranordnung und Verfahren zur Messung von Magnetfeldern
Date Issued
2011
Author(s)
Peters, V.
Hohe, H.-P.
Patent No
102011011247
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Messung von Magnetfeldern mit mindestens einem in ein Substrat integrierten Magnetfeldsensor, über dem eine Schicht aus einem weichmagnetischen Material angeordnet ist. Die Schicht kann lokal durch eine integrierte Leiterbahn in Sättigung gebracht werden, wodurch die abschirmende Wirkung aufgehoben und ein externes Feld für den integrierten Sensor messbar wird. Die Sensoranordnung ermöglicht eine Kompensation des Offsets während des Betriebs und/oder eine definierte Einstellung einer feldkonzentrierenden Wirkung bei einfacher Herstellbarkeit.