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Sensormodul mit Weckeinrichtung

Sensor module with waking device
 
: Billep, D.; Schulze, R.; Geßner, T.

:
Frontpage ()

DE 102010060906 A
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ENAS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Mikromechanik-basiertes Sensormodul mit wenigstens einer bewegbaren Struktur, wenigstens einem aktiven Primärwandler zum Umwandeln eines mechanischen Signals der bewegbaren Struktur in ein elektrisches Signal und einer elektronischen Schaltung zum messtechnischen Erfassen von Bewegungen der bewegbaren Struktur, wobei das Sensormodul neben dem aktiven Primärwandler wenigstens einen passiven Sekundärwandler zum Umwandeln eines mechanischen Signals der bewegbaren Struktur in ein elektrisches Signal aufweist, wobei der Primärwandler und der Sekundärwandler mit der elektronischen Schaltung gekoppelt sind, und wobei der Sekundärwandler als Aufweckgenerator für den Primärwandler und/oder die elektronische Schaltung von einem Ruhezustand in einen Messzustand vorgesehen ist.; Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein integriertes Mikromechanik basiertes Sensormodul mit einer hohen Messgenauigkeit vorzuschlagen, welches im Dauereinsatz einen geringen Energieverbrauch aufweist und das auch sporadisch auftretende Beschleunigungen der bewegbaren Struktur in dem Sensormodul messtechnisch mit hoher Genauigkeit erfasst. Die Aufgabe wird durch ein Sensormodul der anfangs definierten Gattung gelöst, in welchem der Sekundärwandler in die bewegte Struktur und/oder eine weitere bewegbare Struktur in der elektronischen Schaltung integriert ist.

 

The invention relates to a sensor module on a micromechanical basis having at least one moveable structure, at least one active primary transducer for converting a mechanical signal of the moveable structure into an electrical signal, and an electronic circuit for capturing, using measurement technology, movements of the moveable structure, wherein the sensor module has, in addition to the active primary transducer, at least one passive secondary transducer for converting a mechanical signal of the moveable structure into an electrical signal, wherein the primary transducer and the secondary transducer are coupled to the electronic circuit, and wherein the secondary transducer is provided as a wake-up generator for the primary transducer and/or the electronic circuit from a rest state into a measurement state. It is therefore the object of the present invention to propose an integrated sensor module on a micromechanical basis having a high measurement accuracy, which has, in continuous use, a low energy consumption and which also detects with a high level of accuracy sporadically occurring accelerations of the moveable structure in the sensor module using measurement technology. The object is achieved by a sensor module of the generic type defined in the beginning, in which the secondary transducer is integrated in the moved structure and/or a further moveable structure is integrated in the electronic circuit.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-214481.html