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Konferenzschrift
Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels fur einen monolithischintegrierten RF-MEMS-Schalter
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2011
Conference Paper
Titel
Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels fur einen monolithischintegrierten RF-MEMS-Schalter
Author(s)
Wietstruck, M.
Kaynak, M.
Tillack, B.
Kurth, Steffen
Erler, B.
Hauptwerk
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Konferenz
Konferenz "Systems Integration - Mikrosystemtechnik-Lösungen im Gebäude der Zukunft" 2011
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS