Fraunhofer-Gesellschaft

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Partikelmessung in Reinstmedien

 
: Schmauz, G.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2004 : 11. und 12. Mai 2004, Stuttgart
Stuttgart, 2004
58 S.
Meßtechnisches Praktikum <2004, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Kontaminationskontrolle; Partikelmessung; Probenahme; Streulicht; Reinstmedien; Reinstgas; Rasterelektronenmikroskopie; Zählwirkungsgrad; optische Meßtechnik; particle measurement; Teilchen; Kalibrieren

Abstract
Streulichtpartikelzähler sind vor dem Hintergrund hoher Reinheitsanforderungen die einzigen Geräte, die eine automatische Echtzeitmessung von Partikeln geringster Größe und geringster Anzahlkonzentrationen ermöglichen. Entsprechend des untersuchbaren Mediums lassen sich die verfügbaren Geräte in Flüssigkeitspartikelzähler, Luftpartikelzähler (speziell Kondensationskernzähler), Druckgaspartikelzähler und Vakuumpartikelzähler einteilen. Das Detektionsprinzip beruht auf den in der Streulichttheorie formulierten physikalischen Grundlagen. Der Vortrag gibt einen Überblick über die Meß- und Probenahmetechniken zur Partikelmessung, wie sie vor allem für reine Flüssigkeiten, Gase und Luft eingesetzt werden. Ausführungen zur Funktionsweise und Kalibrierung der Meßgeräte runden den Überblick ab.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-21298.html